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Descripción general del caudalímetro de gas tipo vórtice. El caudalímetro vórtice es un instrumento de medición de flujo oscilante de fluidos, desarrollado según el principio de la "calle de vórtices de Kaman". El llamado "camino de vórtice
Principio de Coriolis.
Bueno para gas de alta presión o alta densidad.
Medición directa del caudal másico.
Para GLP, gas natural, H 2 ,O 2 ,Ar,Cl ₂ ....
En la producción industrial, el nitrógeno (N2) es uno de los gases protectores, de purga y portadores más utilizados. Para lograr un uso preciso, estable y reproducible del nitrógeno, se requiere un controlador de flujo másico de nitrógeno (N2 MFC).
Aquí comprenderá rápidamente su propósito, principios y parámetros clave, lo que le facilitará la elección de un controlador de flujo másico de N2 adecuado.
Los controladores de flujo másico de nitrógeno se utilizan ampliamente en las siguientes situaciones:
Industria de semiconductores y fotovoltaica: Control preciso del flujo de nitrógeno en procesos de deposición de películas delgadas (CVD/PVD), horno de difusión, grabado y recocido.
Corte y soldadura láser: como gas auxiliar, controlar la estabilidad del flujo de nitrógeno afecta directamente la calidad de la sección de corte.
Envasado de alimentos (envasado en atmósfera modificada, MAP): proporción precisa de llenado de nitrógeno en la máquina de envasado.
Producción de baterías de litio: suministro de nitrógeno para la sala de secado de celdas y el taller de inyección.
Horno de tratamiento térmico: control de la proporción de mezcla de nitrógeno, hidrógeno y argón en tratamiento térmico en atmósfera controlada.
Instrumentos de laboratorio y analíticos: gas portador y gas de purga para cromatografía de gases (GC) y espectrómetro de masas.
Reactor químico: Protección con gas inerte y desplazamiento del reactor.
Impresión 3D (fabricación aditiva de metales): mantenimiento de la atmósfera de nitrógeno en la cámara de conformado.
Si su proceso requiere un caudal de nitrógeno que sea "repetible y no se vea afectado por las fluctuaciones de temperatura y presión", entonces un controlador de flujo másico es más adecuado que los caudalímetros de rotor y de flotador tradicionales.
El controlador de flujo másico de N2 convencional adopta el principio térmico (difusión térmica capilar).
En pocas palabras, el proceso consiste en que una pequeña cantidad de nitrógeno fluye a través del tubo capilar del sensor, que está recubierto con dos conjuntos de resistencias calefactoras. Cuando el gas fluye, absorbe calor, lo que provoca un cambio en la diferencia de temperatura entre las resistencias aguas arriba y aguas abajo, proporcional al caudal másico. El controlador compara la señal del sensor con el valor establecido y, a continuación, acciona la válvula proporcional electromagnética para ajustar su apertura hasta que el caudal real sea igual al caudal establecido.
Las ventajas del principio térmico son:
Medición directa del caudal másico (en sccm, slm, kg/h) sin necesidad de compensación adicional de temperatura y presión.
Relación de amplio rango, control preciso incluso para caudales pequeños.
Respuesta rápida, generalmente estable en 1-2 segundos.
Esta es también la mayor diferencia entre este dispositivo y un "caudalímetro volumétrico": el caudal másico no variará debido a los cambios de temperatura y presión en el lugar de trabajo.
| Rango de flujo | De 0 a 10 sccm a 0 a 1000 slm (personalizable para rangos mayores) |
| Exactitud | ± 1,0 % F.S. (rango completo) o ± 1,0 % R.D. (lectura) |
| Repetibilidad | ± 0,2% F.S. |
| Tiempo de respuesta | ≤ 2 |
| Presión de trabajo | Estándar 0,3 MPa, personalizable hasta 10 MPa |
| Temperatura de funcionamiento | 0-50 °C |
| Conexión de procesos | Conexión de compresión, brida, tornillo, VCR u otros |
| Salida de señal | 0-5 V, 4-20 mA, RS485 (Modbus RTU) |
| Tipo de válvula | Válvula proporcional electromagnética (principalmente normalmente cerrada) |
| Dirección del flujo | Se puede instalar horizontal o verticalmente. |
Al realizar la selección, se recomienda proporcionar la siguiente información para facilitar nuestra recomendación de modelos adecuados:
Su solicitud real
Rango de caudal máximo y mínimo real
Presión de entrada y contrapresión de salida
Pureza del gas (nitrógeno ordinario o nitrógeno de alta pureza)
¿Necesitas una interfaz de comunicación (acoplamiento PLC)?
Tamaño de la interfaz y método de instalación
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